プラズマ洗浄や表面処理を学ぶ本は、どの分野から選べばよいか迷いますよね。
洗浄の原理や半導体の表面処理など、知りたい内容に合わせて選べます。
今回は、プラズマ洗浄や表面処理に関する本をまとめます。
おすすめ商品の早見表
| 商品名 | 扱う主な分野 | ページ数 | 判型 | 参考価格 |
|---|---|---|---|---|
 プラズマ産業応用技術《普及版》 | プラズマの表面処理・環境浄化などへの応用 | 321ページ | B5判 | 5,390円（Amazon、2026年10月28日時点） |
| 産業応用のための洗浄の実務 | 産業洗浄の基礎・評価・実務 | 281ページ | B5判 | — |
| 半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング | 半導体プラズマプロセスの制御・計測 | 395ページ | A4判 | — |
| しくみ図解 表面処理が一番わかる | 金属材料の表面処理 | 176ページ | A5判 | — |
プラズマ産業応用技術《普及版》
プラズマ技術の産業応用を、表面処理を含めて広く学びたい人には『プラズマ産業応用技術《普及版》』がおすすめです。プラズマ生成技術と応用機器を扱うほか、表面処理の章には大気圧プラズマ表面処理装置の開発や、熱アシストプラズマ処理によるフッ素樹脂の表面改質が収録されています。
本書は総説論文集で、理解には電気工学や化学工学、材料工学などの広範な知識が必要とされています。普及版の内容は2017年刊行時のままで加筆・訂正はなく、関心のある技術が必ずしも解説されているとは限りません。
産業応用のための洗浄の実務
プラズマ洗浄の原理を、産業洗浄の基礎や実務とあわせて学びたい人には『産業応用のための洗浄の実務』がおすすめです。大気圧プラズマ洗浄の原理やリモートプラズマ洗浄に加え、プラズマ処理による親水化の原理と実施例も収録しています。洗浄の評価と実務にも章が設けられており、洗浄を幅広く学べる内容です。
半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング
半導体の表面処理や洗浄を、プラズマプロセスの制御・計測とあわせて学びたい人には『半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング』がおすすめです。プラズマの基礎や生成・制御技術から、計測とプロセスの評価・解析までを扱い、第8章には半導体の表面処理技術と洗浄技術が収録されています。
しくみ図解 表面処理が一番わかる
金属材料の表面処理を基礎から学びたい人には『しくみ図解 表面処理が一番わかる』がおすすめです。前処理の章では表面に付着する不純物の清浄や脱脂洗浄を扱い、プラズマを使用した表面処理も収録しています。めっきや化成処理、アルマイトにも章が設けられており、金属の表面処理を幅広く学べます。
目的に合わせた本の選び方
- プラズマの産業応用を広く学びたい人
- プラズマ洗浄の原理を学びたい人
- 半導体の表面処理とプロセス制御を学びたい人
- 金属材料の表面処理を基礎から学びたい人
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