半導体のウェットエッチングを学びたいとき、どの技術書を選べばよいか迷いますよね。
材料ごとのエッチングや処理条件を扱う本から、半導体製造プロセス全体を取り上げる本まで、知りたい範囲に合わせて選べます。
今回は、ウェットエッチングを扱う5冊をまとめます。
おすすめ商品の早見表
| 商品名 | ウェットエッチングの掲載内容 | ページ数 | 参考価格 |
|---|---|---|---|
 半導体製造におけるウェット／ドライエッチング技術 | 単結晶Siの結晶異方性、III-V族化合物半導体、高精度化とトラブル対策 | 252ページ | 69,300円（2026年10月27日時点のAmazon価格） |
 半導体製造におけるエッチング技術 | 基礎と不良対策、単結晶シリコンの異方性、GaN | — | 71,500円（2026年10月27日時点のAmazon価格） |
| ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化【新装版】 | 化合物半導体、単結晶Siの結晶異方性、エッチング液・浴の管理 | 223ページ | — |
| マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 | 基礎、シリコン結晶異方性、化合物半導体結晶、ドライとの組み合わせ | 301ページ | — |
| 図解即戦力 半導体プロセスのしくみとビジネスがこれ1冊でしっかりわかる教科書 | ウェットとドライ処理、材料特性に応じた最適化、等方性・異方性 | 240ページ | — |
半導体製造におけるウェット／ドライエッチング技術
半導体のウェットエッチングを材料ごとに学びたい人には、この本がおすすめです。単結晶Siの結晶異方性ウエットエッチングと、III-V族化合物半導体のウェットエッチングをそれぞれ扱っています。ウェットエッチングの高精度化とトラブル対策に関する節もあり、材料別の技術とあわせて読み進められます。
ドライプロセスの基礎を扱う節もあり、ウェットとあわせて学びたい場合にも役立ちます。新しいエッチング技術の研究開発動向を扱う章には、GaNの光電気化学（PEC）エッチングの節もあります。
半導体製造におけるエッチング技術
ウェットエッチングの基礎と不良対策を学びたい人には、この本がおすすめです。単結晶シリコンの異方性ウエットエッチングやGaNのウエットエッチングも取り上げており、扱う材料に関する項目を探せます。
ウェットエッチングに加えて、プラズマエッチングや原子層エッチングの章もあります。シミュレーションを扱う章もあるので、エッチングに関連する技術をあわせて読みたい場合にも役立ちます。
ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化【新装版】
ウェットエッチングの条件を考えるために、反応の仕組みから学びたい人には、この本がおすすめです。化合物半導体について、典型的なエッチング液の組成やメカニズム、エッチング速度と律速過程を扱っています。InPとGaAsのウェットエッチングも取り上げています。
単結晶Siの結晶異方性エッチングでは、速度の結晶方位依存性や、エッチング液の濃度・温度への依存性を扱います。エッチング液・浴の管理と最適化を扱う章もあり、処理条件に関わる項目を読み進められます。
出版社からの注文では、注文後のキャンセルや商品変更はできません。オンデマンド印刷のため、発送まで4〜8営業日かかる場合があります。
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
ウェットエッチングを基礎から学びたい人には、この本がおすすめです。シリコンの結晶異方性エッチングの基礎に加え、化合物半導体結晶のウェットエッチングを扱う章があります。
ドライエッチングの基礎とパラメータの最適化、ドライとウェットの組み合わせも取り上げています。新たにエッチング加工技術を使い始める研究者にも役立つことを目指して書かれた一冊です。
図解即戦力 半導体プロセスのしくみとビジネスがこれ1冊でしっかりわかる教科書
ウェットエッチングを半導体製造プロセス全体の中で学びたい人には、この本がおすすめです。エッチングの章には、ウェットとドライ処理のほか、材料特性に応じた最適化や等方性・異方性エッチングの項目があります。
製造プロセスの概観を扱う章に加え、リソグラフィや洗浄・乾燥、成膜なども取り上げています。エッチングとあわせて、ほかの工程についても読みたい場合に役立ちます。
用途に合わせた選び方
- 単結晶シリコンと化合物半導体のウェットエッチングを学びたい人
- ウェットエッチングの基礎と不良対策を学びたい人
- 半導体製造プロセス全体とあわせて学びたい人
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