PVDや表面改質を学ぶ専門書は、どの範囲から読み始めるか迷いますよね。
薄膜の作製から評価までを扱う本や、表面処理の各手法を取り上げる本なら、調べたいテーマに合わせて選べます。
今回は、PVDや表面改質に関連する4冊を紹介します。
おすすめ商品の早見表
| 商品名 | 目次にある主なテーマ | 発行年 | 参考価格 |
|---|---|---|---|
 薄膜工学 第4版 | 薄膜の作製・評価・機能と応用 | — | 4,620円（2026年10月27日時点） |
 表面処理と材料 | CVD・PVD法、イオン窒化・浸炭、溶射 | 1996年 | 6,960円（2026年10月27日時点） |
 薄膜材料入門 | PVD法の材料開発への応用、薄膜の堆積による表面改質 | 1998年 | — |
| ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 | PVDとプラズマ、薄膜・表面の分析と評価 | 2013年 | — |
薄膜工学 第4版
薄膜の作製から評価まで、基礎を系統的に学びたい人には「薄膜工学 第4版」がおすすめです。薄膜の作製・評価・性質をまとめた入門書で、作製法では真空蒸着・MBE法やスパッタリングを取り上げています。薄膜評価法のほか、薄膜の機能と応用の章もあるので、作製方法とあわせて評価や応用を学びたいときに選べます。
表面処理と材料
表面改質の技術を幅広く学びたい技術者や大学院生には、「表面処理と材料」がおすすめです。表面処理・改質技術としてのCVD法とPVD法を扱い、物理蒸着（PVD）法の節も設けています。イオン窒化法とイオン浸炭法、溶射法、レーザによる合金の表面処理も取り上げているので、さまざまな手法を学ぶ参考書として選べます。
薄膜材料入門
薄膜材料と表面改質をあわせて学びたい人には、「薄膜材料入門」がおすすめです。薄膜材料と製膜技術を取り上げ、PVD法による薄膜作成技術の材料開発への応用を扱っています。表面改質膜材料の章には、薄膜の堆積による表面改質の項目もあります。
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
ドライプロセスの基礎から学びたい初学者には、「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」がおすすめです。PVDと非平衡プラズマのほか、プラズマからの活性種と表面の反応、改質層の形成を取り上げています。分析と評価の章には膜厚測定や密着性評価の節もあり、薄膜を形成する技術とあわせて評価についても学べます。
目的別の選び分け
- 薄膜の作製と評価をあわせて学びたい人
- 表面処理のさまざまな手法を学びたい人
- 薄膜材料と表面改質をあわせて学びたい人
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